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日志

明白:光谱共焦法测量介绍

已有 5 次阅读2025-12-5 12:16

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随着传感科技的不断进步,光谱共焦传感器在工业生产和科学研究中展现出了强大的功能和技术势。特别是对于透明材料的厚度和翘曲度等方面的测量需求,光谱共焦作为一种先进的传感器技术,有着广泛的应用场景。对于光谱共焦位移传感器的测试原理和应用再此做一个简单介绍,方便大家讨论。

光谱共焦位移传感器原理

光谱共焦位移传感器是一种测量位移变化的高精度测量设备,其工作原理基于共焦光学和光谱分析的结合。

在传统的共焦系统中,一个点光源(通常为激光)通过一个聚焦透镜照到样品上,同一个透镜也用来收集反或透光。由于共焦孔径的存在,只有来自聚焦平面的光可以通过孔径被检测器接收。随着样品的位移,聚焦平面也随着移动,导致聚焦平面之外的光线强度急剧下降。这样,光强和样品表面的距离之间建立了一个非常敏感的依赖关系,可以用来测量位移。

光谱共焦位移传感器则是对共焦系统的进一步发展。它使用白光源代替单一波长的激光,并且利用光谱仪来分析反光的光谱。在光谱共焦系统中,由于白光源包含了连续的光谱,不同波长的光将在样品表面的不同深度上聚焦。这意味着,通过分析反光的光谱,可以确定出样品表面的精确位置。

光谱共焦位移传感器应用场景

传统的激光角位移传感器在测量透明物体方面存在一定限制,只能测量非透明或镜面物体的距离,而法直接测量透明物体的厚度。然而,光谱共焦传感器通过利用激光的散和反原理,能够穿透透明物体并获取其上下表面的位置信息,从而现对透明物体厚度的准确测量。这一技术突破使得透明材料的厚度测量变得更加可行和精确。

01透明材质下翘曲和厚度精确测量

02复杂表面结构下翘曲度和厚度测量

除了测量透明材料厚度,光谱共焦传感器还可以在存在表面倾斜的情况下提供准确的测量结果。相比传统激光角位移传感器,在复杂的表面结构下,光谱共焦传感器通过多个接收通道的协同工作,现了精准的位移检测,为翘曲度测量提供了更便捷和准确的解决方案。

基准点与各测量点之间的差值

所有测量点中比较大值与比较小值之差

综上所述,光谱共焦位移传感器在透明材料厚度和翘曲度测量方面具备明显的势和突破。其能够直接测量透明物体的上下表面位置,消除了传统激光角位移传感器对于非透明和镜面物体的限制;同时,光谱共焦传感器在测量精度和应对复杂表面结构方面也展现出卓越的性能。随着该技术的不断发展和应用,相信光谱共焦传感器将为工业检测、材料研究等领域带来新的机遇和挑战,助力透明材料测量领域的突破与发展。

利用光谱共焦传感器在测量上势,妙光智能成功现了进口替代,主要针对SiC、钽酸锂等透明半透明材料,可精测测量TTV\LTV\Bow\Warp等技术数据,其指标完全达到国外同等类设备的技术水平。


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